·真空度：处于真空状态下的气体稀薄程度，通常用“真空度高”和“真空度低”来表示。单位是Torr或Pa。
　　·抽气速率：单位m³/h或L/S，是指在一定的压强和温度下，单位时间内海外npv加速试用进气口处抽走的气体。
　　·抽气量：单位是m³/s或l/s，指泵入口的气体流量。
　　·转速：单位r/min，转子的旋转速度。
　　·极限真空：海外npv加速试用经充分抽气后，稳定在某一真空度，此真空度为该泵的极限真空。通常海外npv加速试用需要经过12小时炼气，再经12小时抽真空，最后一个小时每隔10分钟测量一次，取其6次的平均值为极限真空值。
　　·何氏系数：海外npv加速试用抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泄流计算的理论抽速之比。
　　·流导：表示真空管道通过气体的能力，在稳定状态下，管道流导等于管道流量除以管道两端压强差，单位为L/s。
　　·水蒸气允许量：单位kg/h，指泵在正常工作环境下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。
　　·平均自由程：作无规则热运动的气体粒子，相继两次碰撞所飞越的平均距离，用符号“λ”表示。
　　·标准大气压：压强为每平方厘米101325达因的气压，单位Atm。
　　·压力或压强：气体分子作用于容器壁的单位面积上的力，用Pa表示。
　　·起动压强：指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。
　　·前级压强：指排气压强低于一个大气压的海外npv加速试用的出口压强。
　　·最大前级压强：指超过了能使泵损坏的前级压强。
　　·最大工作压强：只对应最大抽气量的入口压强。在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
　　·主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的海外npv加速试用。
　　·前级泵：用于维持某一海外npv加速试用前级压强地域其临界前级压强的海外npv加速试用。如罗茨泵前配置的旋片泵或滑阀泵就是前级泵。
　　·粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一海外npv加速试用开始工作的海外npv加速试用。
　　·维持泵：在真空系统中，气量很小时，不能有效利用前级泵。为此配备一种容量较小的辅助泵来维持主泵工作，此泵叫维持泵。如扩散泵出口处配一台小型旋片泵，就是维持泵。