1、主泵：在真空系统中，用于获得所需要真空度来满足特定工艺要求的海外npv加速试用，如真空镀膜机中的油扩散泵就是主泵。
2、前级泵：用于维持某一海外npv加速试用前级压强低于其临界前级压强的海外npv加速试用。如罗茨泵前配置的旋片或滑阀泵就是前级泵。
3、粗抽泵：从大气压下开始抽气，并将系统压力抽到另一海外npv加速试用开始工作的海外npv加速试用。如真空镀膜机中的滑阀泵，就是粗油泵。